Тиристор - трёхэлектродный полупроводниковый прибор, состоящий из трёх p - n-переходов ,взаимодействие
между к-рыми приводит к тому, что прибор может находиться в одном из двух устойчивых
состояний: выключенном- с высоким сопротивлением и включённом - с низким. Полупроводниковая
структура T. состоит из четырёх слоев чередующегося типа проводимости (п+рпр+
; рис. 1), образующих три расположенных друг над другом p - n-перехода.
Внутренний базовый р-слой обычно выполняется сильнолегированным (концентрация
примеси N=1017-1018 см-3) и тонким,
чтобы обеспечить достаточно высокий (0,7-0,9) коэф. переноса b n+pn-транзистора
(см. Транзистор биполярный ).Базовый n-слой выполняется относительно
толстым и слаболегированным (N= 1013 - 1015 см-3).
При приложении внеш. напряжения указанной на рис. 1 полярности (прямое смешение)
крайние переходы Э1 и Э2 (эмиттеры) смещены в проводящем,
а центральный K1 (коллектор) - в запорном направлениях; его область
пространственного заряда (ОПЗ) расположена почти полностью в n-базе.
Эмиттер Э1 обычно имеет распределённые по всей площади шунтирующие
каналы, выполненные в виде выходов р-слоя сквозь n+
-слой к ме-таллич. контакту. Процессы, определяющие возможность переключения,
протекают след. образом. Электронно-ды-рочные пары, генерируемые, напр., теплом
в ОПЗ, разделяются полем; дырки и электроны выбрасываются в р- и п-базы,
соответственно понижают потенц. барьеры эмиттеров Э1 и Э2,
что приводит к соответствующей инжекции неосновных носителей в базы. Эти носители
диффундируют через базовые области, частично рекомбинируя с осн. носителями,
а затем выбрасываются полем через ОПЗ в соответствующие базы уже в качестве
осн. носителей, понижают барьеры Э1 и Э2 и т. д.
Тиристор находится в устойчивом запертом состоянии до тех пор, пока количество
носителей, поступающих в базовые слои, не превышает их потерь из-за
рекомбинации и ухода в эмиттеры. С ростом приложенного напряжения растёт
протекающий через n+рпр+-структуру ток из-за
расширения ОПЗ и увеличения поля в ней, приводящих к увеличению тока утечки.
Возрастание тока ведёт к относительному уменьшению потерь; это связано в
основном с ростом инжекционной компоненты тока эмиттерных переходов и полевому
ускорению переноса носителей через n-базу. Поэтому при определенном
напряжении поступление носителей начинает превышать потери. Этот процесс вследствие положит.
характера обратной связи нарастает лавинообразно и приводит к заполнению
базовых областей электронно-дырочной плазмой большой плотности (см. Плазма
твёрдых тел), смещение коллектора вследствие этого меняет знак, и прибор
переходит во включённое состояние. Шунтирующие каналы в эмиттере Э1,
увеличивающие потери дырок в p-базе, позволяют поднять напряжение переключения
вплоть до напряжения лавинного пробоя коллектора. Вольт-амперная характеристика
(BAX), определяемая вышеописанными процессами, показана на рис. 2; она описывается
выражением
где jко -ток утечки коллекторного перехода; a1, a2-коэф. усиления п+рп- и р+np-транзисторов, составляющих n+ pnp+ -структуру. Из (1) следует, что условием переключения (jко0, т. е. U0) приближённо можно считать (a1 + a2)1. Переключение n+рпр+ -структуры можно осуществить не повышением напряжения, а, напр., импульсом света с энергией кванта, достаточной для генерации электронно-дырочных пар (фототиристор), или инжекцией электронов эмиттером Э1 при пропускании импульса тока в цепи AB (рис. 1). В этом случае из-за большого тангенциального сопротивления p-базы инжектирует узкая область эмиттера вдоль границы с электродом управления В, Процесс включения происходит только в этой области, и из неё включённое состояние распространяется по всей площади прибора. На нач. стадии, пока плотность тока во включённой части высока, распространение включённого состояния определяется электрич. полем на границе включённой и невключённой областей, смещающим эмиттеры в проводящем направлении, а по мере уменьшения плотности тока определяющим механизмом становится диффузия плазмы из включённой области. Скорость этих процессов обычно лежит в пределах 0,1-0,005 мм.мкс в зависимости от мгновенной плотности тока и конструкции прибора. BAX T. в установившемся включённом состоянии практически аналогична BAX р+nn+ -диода; распределение электронно-дырочной плазмы в базовых слоях показано на рис. 3. Выключение T. обычно осуществляется путём кратковрем. изменения полярности внеш. напряжения. Ток при этом меняет направление и носители заряда из плазмы вытягиваются во внеш. цепь, обеспечивая протекание тока. Концентрация плазмы у эмиттерных переходов уменьшается как за счёт вытягивания неосновных носителей, так и за счёт рекомбинации. Из p-базы электроны уходят через n+-слой, а избыточные дырки инжектируются коллектором К в n-базу; низковольтный эмиттер Э1 быстро восстанавливается и пробивается. Через переход Э2 из n-базы уходят дырки, но избыточные электроны практически не могут уйти через потенц. барьер прямосмещённого коллектора. Поэтому протекающий через T. обратный ток почти не выносит заряд из n-базы: уход дырок через Э2 сопровождается поступлением через коллектор К почти такого же кол-ва дырок, создаваемых ударной ионизацией в переходе Э1, и заряд в n-базе исчезает практически только вследствие рекомбинации. После того как концентрация дырок у перехода Э2 уменьшается до равновесного значения, начинается образование ОПЗ, граница к-рой быстро перемещается в глубь n-базы, сопротивление прибора резко возрастает, а ток в цепи падает. В квазинейтральной части n-базы при этом нек-poe время сохраняется довольно большое кол-во избыточных носителей заряда. При изменении полярности внеш. напряжения на прямое эти носители выбрасываются полем коллектора в базы, вызывая всплеск прямого тока; однако если этот ток меньше нек-рой критич. величины jкр, приводящей к лавинообразному нарастанию концентрации, T. остаётся в выключенном состоянии. Промежуток времени между изменением направления тока через T. до момента, когда становится возможным приложение прямого смещения, наз. временем выключения tq. Оценочно, tqтrln(jпр/ jкр), где тp - время жизни дырок в n-базе. Отсюда следует, что статич. и динамич. характеристики T. жёстко взаимосвязаны. Для того чтобы обеспечить блокирование большого напряжения, n-база должна быть слаболегированной и иметь толщину, превышающую размер ОПЗ коллектора примерно на Lp= (Dptp)1/2. Увеличение толщины ведёт к увеличению напряжения на приборе во включённом состоянии. Для того чтобы оно оставалось на приемлемом уровне, необходимо увеличивать Lp, что ведёт к увеличению tq, т. е. к ухудшению частотных характеристик прибора. Поэтому быстродействующие T. имеют сравнительно невысокое рабочее напряжение, а высоковольтные - большое время выключения.
Рис. 1. Четырёхслойная р+прп + -структура тиристора: АС-основная цепь; AB-цепь управления; 1 - шунтирующие каналы; 2 - ОПЗ коллектора.
Рис. 2. BAX тиристора: а - при прямом смещении; б -при обратном смещении.
Рис. 3. Распределение электронно-дырочной плазмы в базовых слоях включённого тиристора (+ на р+-слое). Штрихпунктирными линиями показаны три последовательные стадии рассасывания плазмы при выключении тиристора (- на р+ -слое).
Основным полупроводниковым
материалом для изготовления T. является кремний. Четырёхслойная п+рпр+ -структура изготавливается, как правило, путём последовательных операций
термодиффузии примесей р- и n-типа в пластину монокристаллич.
кремния, причём для получения эмиттерного n+-слоя сложной
геом. формы применяются маскирование окислом и фотолитография.
Диапазон рабочих параметров совр. T. чрезвычайно широк. T. в планарном исполнении, обычно интегрируемые
с др. элементами схем,
имеют рабочие токи 10-2 - 10-1A при напряжениях 101
-102B; T. предельной мощности имеют рабочие токи 13.103A
при напряжениях (36)·103
В. Четырёхслойная n+pnp+ -структура и протекающие
в ней физ. процессы лежат в основе целого ряда приборов тиристорного типа, сильно
отличающихся от описанного выше обычного T. К ним относятся, в частности:
а) симистор, состоящий из двух встречно-параллельно включённых n+pnp+ -структур с общим электродом управления, выполненных в одной полупроводниковой
пластине. Симистор обычно используется в качестве ключа переменного тока;
б) фототиристор - тиристор, переключение к-рого осуществляется импульсом света.
В этом приборе цепь управления полностью изолирована от осн. цепи, что особенно
удобно при работе на больших напряжениях;
в) запираемый тиристор, выключение к-рого осуществляется не переменой
полярности внеш. напряжения,
а импульсом запирающего тока в цепи управления, что позволяет существенно упростить
конструкцию аппаратуры. Предельные параметры совр. запираемых T. почти такие
же, как и у обычных тиристоров;
г) реверсивно включаемый динистор, включение к-рого осуществляется кратковрем.
изменением полярности
внеш. напряжения. Этот прибор, в отличие от всех др. приборов тиристорного типа,
включается однородно и одновременно сразу по всей рабочей площади. Это позволяет
переключать очень большие (105-106 А) импульсные токи,
а также работать на высоких (до 105 Гц) частотах при коммутации больших
мощностей.
Перспективным материалом для приборов тиристорного типа является арсенид галлия. Из-за большей, чем у кремния, ширины запрещённой зоны он позволяет работать при большей температуре, блокировать большее напряжение при сравнительно тонкой ОПЗ и, следовательно, тонкой базе с малым тp; это даёт возможность существенно улучшить быстродействие приборов.
И. В. Грехов