Фотолитография - способ формирования изделий разл. типа с использованием светочувствит. материалов.
Ф. применяется в полиграфии для фотомеханич. изготовления печатных форм на формном
материале (камне или металлич. пластине) в результате фотодубления или фотополимеризации
светочувствит. слоя. Этот способ отличается высокой трудоёмкостью и многооперационностью,
но широко используется для изготовления офсетных форм, обеспечивающих высококачеств.
воспроизведение сложных оригиналов. В процессе фотодубления-применяются поливиниловый
спирт, низкомолекулярные смолы (связующие), соли хрома и диазосоединения (сенсибилизаторы),
обеспечивающие фотосшивку макромолекул. В состав фотополимеризующихся
композиций входят мономеры или низкомолекулярные полимеры и инициаторы фотополимеризации,
сенсибилизаторы.
В электронике Ф. используется
для формирования рельефного рисунка в слое металла, диэлектрика или полупроводника
с применением фоторезистов и источников УФ-излучения в процессе изготовления
интегральных схем и др. электронных устройств. В зависимости от требуемого
размера элементов интегральных схем применяют контактную (при низком разрешении)
или проекционную (при высоком разрешении) Ф. Проекционная Ф. обеспечивает создание
сверхбольших интегральных схем типа дина-мич. оперативных запоминающих устройств
ёмкостью до 64 Мбит и более при использовании наиб. коротковолнового УФ-излучения
эксимерных лазеров ( l~=193 нм). При этом предельные мин. размеры элементов
сверхбольших интегральных схем, получаемых методом Ф., практически ограничиваются
интерференцией и дифракцией света и достигают 0,35 мкм.
С 90-х гг. развивается
т. н. ф о т о с т е р е о л и т о г р а-ф и я-способ получения объёмных изделий
из жидких фотополимеризующихся композитов путём послойной фотополимеризации
лазерным излучением методом автоматизированного проецирования. Этот способ применяется
при изготовлении эксперим. моделей и образцов техн. и медицинских изделий сложной
формы, а также пресс-форм разл. назначения. Фотостереолитография существенно
сокращает время, необходимое для отработки конструкции новых изделий.
Литература по
Боков Ю. С., Фото-, электронно- и рентгенорезисты, М., 1982; Лазаренко Э. Т., Фотохимическое
формование печатных форм, Львов, 1984; Слуцкин А. А., Справочник технолога-полиграфиста,
ч. 2. Копировально-множительные процессы, М., 1989. В. А. Барачевский.
Знаете ли Вы, что релятивистское объяснение феномену CMB (космическому микроволновому излучению) придумал человек выдающейся фантазии Иосиф Шкловский (помните книжку миллионного тиража "Вселенная, жизнь, разум"?). Он выдвинул совершенно абсурдную идею, заключавшуюся в том, что это есть "реликтовое" излучение, оставшееся после "Большого Взрыва", то есть от момента "рождения" Вселенной. Хотя из простой логики следует, что Вселенная есть всё, а значит, у нее нет ни начала, ни конца... Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.
