Сканирующий атомно-силовой микроскоп - прибор для изучения поверхностей твёрдых тел с разрешающей способностью порядка межатомных расстояний, основанный на сканировании исследуемого участка образца S(x, у)плоской пружиной, свободный конец к-рой (или укреплённое на нём остриё) удалён от поверхности образца на расстояние r в неск. Изобретён Г. Биннингом (G. Binning), К. Ф. Куатом (С. F. Quate) и К. Гербером (С. Gerber) в 1986. При таких расстояниях сила взаимодействия между двумя ближайшими атомами, расположенными соответственно на кончике острия и на поверхности образца, составляет 10-7-10-9 Н. При жёсткости упругого элемента порядка 1 Н/м это приводит к измеримой деформации пружины. При сканировании цепь обратной связи поддерживает деформацию пружины (и тем самым силу взаимодействия), соответственно изменяя z. Синхронная со сканированием запись сигнала обратной связи Vz представляет собой запись профиля поверхности пост. силы F(x, у), т. е. фактически поверхности образца.
Т. к. силы взаимодействия между атомами острия и поверхности быстро спадают с расстоянием (для сил притяжения типа Ван-дер-Ваальса при взаимодействии двух атомов как z-7, для сил отталкивания при потенциале Ленарда - Джонса как z-13; см. Межатомное взаимодействие, Межмолекулярное взаимодействие), то разрешающая способность С. а--с. м. может достигать 0,001 нм по z и 0,1 нм по х, у. Прибор может работать в вакууме и жидкости, значительно хуже - при обычных атм. условиях, когда поверхностные плёнки влаги приводят к слипанию кончика упругого элемента с поверхностью образца, к росту действующих между ними сил F на неск. порядков и к значит. гистерезису зависимости F(z).
Устройство С. а--с. м. во многом аналогично устройству сканирующего
туннельного микроскопа. Принципиальным отличием является то, что стабилизируется
не ток между остриём и образцом, а деформация чувствит. элемента. Для её
измерения в первых С. а--с. м. использовалось измерение туннельного тока
между тыльной (по отношению к образцу) стороной плоской пружины и подводимым
к ней дополнит. электродом - остриём; применяются также оптич. методы,
основанные на наблюдении интерференции или отклонения луча света, отражающегося
от чувствит. элемента.
Изображение поверхности скола графита - плоскость (0001). Максимальные вариации уровня от светлого к тёмному ~ 0,015 нм.
С. а--с. м. можно преобразовать в прибор для зондирования магн. полей с субмикронным разрешением; при этом на кончике пружины закрепляется крупинка ферромагн. материала. Другие области применения те же, что и для сканирующей туннельной микроскопии. Преимущество С. а--с. м.- возможность изучения (с атомным разрешением) поверхности не только проводников, но и диэлектриков (рис.).
В. С. Эделъман