к библиотеке   к оглавлению   FAQ по эфирной физике   ТОЭЭ   ТЭЦ   ТПОИ   ТИ  

РЕАЛЬНАЯ ФИЗИКА

Глоссарий по физике

А   Б   В   Г   Д   Е   Ж   З   И   К   Л   М   Н   О   П   Р   С   Т   У   Ф   Х   Ц   Ч   Ш   Э   Ю   Я  

Сильнолегированный полупроводник

Сильнолегированный полупроводник - кристаллич. полупроводник, в к-ром примесные атомы (ионы) хаотически распределены в решётке, а их концентрация N превышает нек-рую критич. концентрацию Nкр. С. п. представляет собой неупорядоченную систему примесей внутри упорядоченной монокристаллич. полупроводниковой матрицы.

При слабом легировании (см. Легирование полупроводников)примесные атомы можно считать изолированными друг от друга. Волновые функции электронов и силовые поля U соседних примесных атомов (кулоновские для заряж. примесей - ионов, упругие - для нейтральных атомов) не перекрываются (рис. 1, а).
8033-2.jpg

Рис. 1. Зависимость плотности примесных состояний8033-3.jpg от их энергии8033-4.jpg для слаболегированного полупроводника (а); при среднем уровне легирования (б); при сильном легировании (в).

Количественно условие слабого легирования выполняется при соблюдении неравенств:
8033-5.jpg

Здесь8033-6.jpg - ср. расстояние между соседними примесными атомами, аБ - боровский радиус примесного атома в кристалле, r0 - радиус экранирования кулоновского потенциала примесного иона электрич. полем противоположно заряженных свободных носителей заряда. Неравенство (1) определяет отсутствие перекрытия волновых функций электронов, неравенство (2) - силовых полей соседних атомов примеси:
8033-7.jpg

Здесь8033-8.jpg- диялектрич. проницаемость кристалла. Величина r0 зависит от концентрации свободных носителей заряда п0, т. е. от концентрации примесей TV. Для случаев невырожденного и полностью вырожденного газа носителей заряда соответственно
8033-9.jpg

где m* - эфф. масса носителей заряда.

С увеличением концентрации примесей N условия (1) и (2) нарушаются. Сначала перестаёт выполняться неравенство (2), т. к. по мере увеличения N примесные атомы сближаются и электрон, локализованный в потенциальной яме U у одного из них, начинает испытывать воздействие со стороны соседних атомов. При этом энергетич. уровень примесного электрона несколько смещается, но примесные уровни остаются дискретными. Смешение уровней зависит от взаимного расположения примесных атомов. Хаотичность последнего приводит к разбросу примесных уровней относительно дна зоны проводимости8033-10.jpg и потолка валентной8033-11.jpg в разных частях кристалла. Это проявляется в уширении примесного уровня, наз. классическим (рис. 1,б).

При дальнейшем увеличении N нарушается неравенство (1). Из-за перекрытия волновых функций электронов соседних атомов дискретные уровни уширяются настолько, что преобразуются в примесную зону. Пока в полупроводнике сохраняются уширенные примесные уровни либо обособленная от8033-12.jpgи8033-13.jpg примесная зона, уровень легирования относят к среднему (или промежуточному). При достаточно большой концентрации примесей полностью нарушаются оба неравенства. Примесная зона продолжает расширяться, и при нек-рой критич. концентрации Nкp она сливается как с зоной проводимости, так и с валентной зоной (рис. 1,в). Плотность состояний оказывается отличной от 0 практически во всей запрещённой зоне полупроводника («хвосты» плотности состояний). При этом газ носителей заряда уже не подчиняется статистике Больцмана; он становится вырожденным и подчиняется статистике Ферми.

При сильном легировании электрон взаимодействует одновременно с неск. примесными атомами, кол-во и координаты к-рых из-за хаотич. распределения различны в разных частях кристалла. В результате потенц. энергия U примесных электронов приобретает случайный характер, приводящий к гофрировке зон (рис. 2).

«Хвосты» плотности состояний и их флуктуац. характер проявляются в электропроводности (см. Прыжковая проводимость, Протекания теория), в фотопроводимости (гигантское увеличение времени жизни носителей заряда), в электролюминесценции р - п-переходов и гетеропереходов и др.
8033-14.jpg

Рис. 2. Энергия носителей заряда в поле примесей при сильном легировании полупроводника.

8033-16.jpg

Рис. 3. Зависимость концентрации носителей п0 от концентрации примесей N в случае образования нейтральных (1) и заряженных (2) примесно-дефектиых комплексов.

При N>Nкp нарушается ионизационно-примесное равновесие, т. е. возникает отклонение от равенства n0 = N. Это обусловлено образованием примесных кла=стеров (комплексов). Комплексообразование может приводить к изменению концентрации носителей и положения примесных уровней примеси в запрещённой зоне. Зависимость n0(N)(рис. 3) при этом имеет вид:
8033-15.jpg

где К(Т) - константа взаимодействия примесных атомов, m - число легирующих примесных атомов в кластере, q - электрич. заряд кластера. При малых N зависимость (6) переходит в n0 = N; при больших N и нейтральных кластерах
8033-17.jpg

Для отрицат. кластера с m = 1 (взаимодействие атома примеси с к--л. иным точечным дефектом) кривая (6) в области сильного легирования выходит на плато:
8033-18.jpg

переходящее при q = -1 в соотношение
8033-19.jpg

Заряд q может быть только отрицательным, ибо при q = +1 кластеры не уменьшают, а при q > +1 даже должны увеличивать n0 сверх введённой концентрации примесей N, что невозможно. Комплексообразование оказывает заметное влияние на процессы рассеяния и захвата носителей заряда, оптич., механич. и др. свойства. Основанное на комплексообразовании формирование сложных примесно-дефектных центров, обладающих отличным от атомов легирующей примеси энергетич. и рекомбинац. характеристиками, используют в практике легирования для придания материалу новых свойств.

Литература по сильнолегированным полупроводникам

  1. Фистуль В. И., Сильно легированные полупроводники, М., 1967;
  2. Фистуль В. И., Гринштейн П. М., Рытова Н. С., О политронии легирующих примесей в полупроводниках, «ФТП», 1970, т. 4, с. 84;
  3. Fair R. В., Wеber G. R., Effect of complex formation on diffusion of arsenic in silicon, «J. Appl. Phys.», 1973, v. 44, p. 273;
  4. Бонч-Бруевич В. Л., Калашников С. Г., Физика полупроводников, М., 1977;
  5. Шкловский Б. И., Эфрос А. Л., Электронные свойства легированных полупроводников, М., 1979.

В. И. Фистуль

к библиотеке   к оглавлению   FAQ по эфирной физике   ТОЭЭ   ТЭЦ   ТПОИ   ТИ  

Знаете ли Вы, что, когда некоторые исследователи, пытающиеся примирить релятивизм и эфирную физику, говорят, например, о том, что космос состоит на 70% из "физического вакуума", а на 30% - из вещества и поля, то они впадают в фундаментальное логическое противоречие. Это противоречие заключается в следующем.

Вещество и поле не есть что-то отдельное от эфира, также как и человеческое тело не есть что-то отдельное от атомов и молекул его составляющих. Оно и есть эти атомы и молекулы, собранные в определенном порядке. Также и вещество не есть что-то отдельное от элементарных частиц, а оно состоит из них как базовой материи. Также и элементарные частицы состоят из частиц эфира как базовой материи нижнего уровня. Таким образом, всё, что есть во вселенной - это есть эфир. Эфира 100%. Из него состоят элементарные частицы, а из них всё остальное. Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.

НОВОСТИ ФОРУМА

Форум Рыцари теории эфира


Рыцари теории эфира
 10.11.2021 - 12:37: ПЕРСОНАЛИИ - Personalias -> WHO IS WHO - КТО ЕСТЬ КТО - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 12:36: СОВЕСТЬ - Conscience -> РАСЧЕЛОВЕЧИВАНИЕ ЧЕЛОВЕКА. КОМУ ЭТО НАДО? - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 12:36: ВОСПИТАНИЕ, ПРОСВЕЩЕНИЕ, ОБРАЗОВАНИЕ - Upbringing, Inlightening, Education -> Просвещение от д.м.н. Александра Алексеевича Редько - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 12:35: ЭКОЛОГИЯ - Ecology -> Биологическая безопасность населения - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 12:34: ВОЙНА, ПОЛИТИКА И НАУКА - War, Politics and Science -> Проблема государственного терроризма - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 12:34: ВОЙНА, ПОЛИТИКА И НАУКА - War, Politics and Science -> ПРАВОСУДИЯ.НЕТ - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 12:34: ВОСПИТАНИЕ, ПРОСВЕЩЕНИЕ, ОБРАЗОВАНИЕ - Upbringing, Inlightening, Education -> Просвещение от Вадима Глогера, США - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 09:18: НОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ - New Technologies -> Волновая генетика Петра Гаряева, 5G-контроль и управление - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 09:18: ЭКОЛОГИЯ - Ecology -> ЭКОЛОГИЯ ДЛЯ ВСЕХ - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 09:16: ЭКОЛОГИЯ - Ecology -> ПРОБЛЕМЫ МЕДИЦИНЫ - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 09:15: ВОСПИТАНИЕ, ПРОСВЕЩЕНИЕ, ОБРАЗОВАНИЕ - Upbringing, Inlightening, Education -> Просвещение от Екатерины Коваленко - Карим_Хайдаров.
10.11.2021 - 09:13: ВОСПИТАНИЕ, ПРОСВЕЩЕНИЕ, ОБРАЗОВАНИЕ - Upbringing, Inlightening, Education -> Просвещение от Вильгельма Варкентина - Карим_Хайдаров.
Bourabai Research - Технологии XXI века Bourabai Research Institution