Поверхностная ионизация - образование ионов в процессе термич. десорбции частиц с поверхности твёрдого тела.
Путём П. и. могут образовываться положительные и отрицат. ионы (последние,
если частица обладает сродством к электрону)атомов, молекул, радикалов
и ассоциатов (частиц, образующихся присоединением к молекуле атома или
др. частицы). П. и. - термически равновесный процесс, испарившиеся частицы
имеют больцмановское распределение по энергии с температурой
Т распределения,
равной температуре твёрдого тела.
П. и. была открыта И. Ленгмюром и К. X.
Кингдоном (I. Langmuir, К. Н. Kingdon, 1923), обнаружившими, что в заполненном
парами Cs цилиндрич. диоде с анодом в виде накалённой вольфрамовой проволоки
протекает ток положит. ионов. Они применили Саха формулу для термич.
ионизации газа к описанию ионизации паров одноатомных веществ внутри однородно
нагретой металлич. полости и нашли выражение для степени П. и.
равной отношению концентраций ионов (п+)и атомов (n0)
внутри полости:
Здесь А + - отношение статистнч. весов состояний положит, ионов и атомов; е - элементарный заряд; - работа выхода электрона из стенки полости; у - потенциал ионизации атома; Т - темп-pa стенок полости. Ф-ла (1) наз. ф-л ой Саха - Ленгмюра. П. и. с образованием отрицат. ионов была обнаружена позднее. В этом случае:
где s - сродство атома к электрону,
А - отношение статистич. весов состояний отрпцат. ионов и атомов.
Долгое время изучали и использовали П.
и. на тугоплавких металлах атомов щелочных элементов (с наименьшими
V)и атомов галогенов (с наибольшими S). В дальнейшем было установлено,
что на нагретых твёрдых телах (металлах и полупроводниках) могут ионизироваться
атомы многих элементов, ряд молекул (в т. ч. органич. соединений), а также
частиц, образующихся в хим. реакциях на поверхности; первичные частицы
сложного состава могут претерпевать реакции по многим каналам (напр., диссоциировать)
и образовывать одновременно неск. видов ионов.
Для практич. использования важна П. и.
частиц на открытых поверхностях, в условиях отбора ионного тока при действии
внешних электрич. полей, ускоряющих ионы в направлении от поверхности.
При этом ионизация также может быть термически равновесной, если за время
жизни частиц на поверхности между ними и твёрдым телом устанавливается
тепловое равновесие. В этом случае под степенью П. п. понимают отношение
числа заряж. частиц к числу нейтральных того же хим. состава в испаряющемся
потоке частиц и применяют для нахождения
соотношения статистич. термодинамики, учитывая, что ускоряющее поле уменьшает
теплоту испарения ионов. При напряжённости поля Е у поверхности
и может быть значительно большей, чем в
отсутствие поля. В случае частиц сложного состава в (3)
V - первый
адиабатич. потенциал ионизации,
- отношение полных статистич. сумм состояний заряженной и нейтральной частиц
при температуре Т.
Т. к. величина
характеризует зарядовое равновесие в испаряющемся потоке частиц, она не
зависит от способа поступления частиц на поверхность: они могут поступать
из окружающего пара, в виде атомных и молекулярных потоков, быть частицами
поверхностного слоя самого твёрдого тела или чужеродными частицами, предварительно
нанесёнными на поверхность, а также объёмными примесями, диффундирующими
к поверхности. В условиях теплового равновесия в слое частиц на поверхности
различия в способах поступления частиц сказываются лишь на температурных
и временных зависимостях поступающих и испаряющихся потоков и, соответственно,
ионных токов. Сложившееся разделение термически равновесной ионизации на
нагретых поверхностях на П. и. (первые два способа) и на термоионную эмиссию
(остальные способы) отражает лишь различие способов транспорта первичных
частиц к ионизирующей поверхности.
В стационарных условиях при поступлении
частиц извне поток v поступающих частиц равен испаряющемуся (v
= + v0),
так что при Т - const и v = const на поверхности устанавливается
равновесное покрытие N(T, v) первичными частицами; потоки v+
и v-, и, соответственно, ионные токи постоянны во времени:
v0 = NDexp(- l0/kT),
где l - энергия, необходимая для
десорбции частпц. а С и D - слабо зависящие от Т множители.
Для вычисления плотностей j стац. ионных токов вводят коэф. П. и.
показывающий, какая часть поступающего потока частиц ионизируется,
В случае первичных частиц сложного состава
и лоток v к поверхности может превращаться в неск.
(i)видов
вторичных частиц в результате диссоциации, хим. реакции и т. д. Его можно
представлять состоящим из i потоков vi и считать
ионизацию частиц каждого вида независимой. При этом vi
и v связаны соотношением vi (Т, Е) = gi(Т,
E)v, где
- коэфф. выхода реакции на поверхности по i-му каналу. В общем случае
где R - коэф. отражения первичных частиц от поверхности. Подставляя
получим:
При П. и. атомных потоков
R = 0,
=1.
Для трудноионизируемых веществ
выражения (4) упрощаются (рис. 1):
Измеряя j, можно найти каждую из
входящих в (5) величин. На этом основаны поверхностно-ионизационные методы
исследований поверхности твёрдого тела и процессов взаимодействия частиц
с твёрдым телом.
В случае
когда
и
плотность ионного тока:
Рис. 1. Зависимости j(Т)
при
E=const, v=const для случаев:=
1 (1),возрастает
с увеличением Т (2);уменьшается
с увеличением T (3).
Рис. 2. Зависимости j(T)при= 1 (1), возрастает с увеличением Т (2), уменьшается с увеличением Т (3).
Особенностью "лёгкой" ионизации
является существование температурного порога Т0 (рис.
2) и температурного и полевого гистерезисов вблизи Т0. Величина
Т0, зависящая от теплот испарения ионов и нейтральных частиц с поверхности,
увеличивается с ростом v и уменьшается при увеличении Е. Пороговые
явления вызываются зависимостью теплоты испарения ионов и нейтральных частиц
от степени покрытия и от Е.
В случае
при Т > Т0 ионизируется практически каждая адсорбировавшаяся
частица или каждая образованная ею вторичная частица; j слабо зависит
от T и E, если
= 1 или постоянна, и значит. превосходит токи, получаемые с помощью др.
видов ионизации.
В случае неоднородных по
j
твёрдых тел (напр., поликристаллических) на эмиссию ионов оказывают влияние
т. н. контактные поля пятен (см. Работа выхода). При их компенсации
внешним электрич. полем ионный ток равен сумме токов с отдельных пятен.
При этом в интервале Т порядка неск. сотен градусов ф-лы (4,5) сохраняются
при введении в них усреднённых значенийА*,Из-за
сильной зависимости
от
положит. ионы трудноионизируемых веществ образуются преимущественно на
участках с
а отрицательные ионы - с
так что при сравнимых площадях пятен
В нестационарных условиях (vv0
+) покрытие
N
и ионный ток I изменяются со временем. Часто специально создают
такие условия, нарушая равновесный адсорбированный слой резким изменением
v, Т, или знака приложенного напряжения V. По изменению
I со временем при разных Т можно найти все кинетич. параметры
термич. десорбции ионов (а в ряде случаев и нейтральных частиц), определяющие
величины потоков частиц с поверхности: l±,
l0,
С, D, а также ср. времена жизни частиц на поверхности по отношению
к термодесорбции в виде ионов и нейтральных частиц.
П. и. - один из эфф. способов ионизации.
Она позволяет получать измеримые токи положит. ионов от частиц с V9В,
а отрицат. ионов - от частиц с S
0,6В. В большом числе комбинаций частица - твёрдое тело осуществляется
лёгкая ионизация.
П. и. используется в ионных источниках, детекторах молекулярных и атомных пучков (включая селективные
детекторы и газоанализаторы органич. соединений), для компенсации объёмного
заряда электронов в разл. устройствах. П. п. позволяет исследовать мн.
физико-хим. процессы на поверхности твёрдого тела, а также свойства частиц
и поверхности твёрдого тела. Применяются свыше 30 поверхностно-ионизационных
методов для определений: V и S атомов, молекул и радикалов;
кинетич. характеристик термодесорбции этих частиц в виде ионов и в нейтральном
состоянии; для изучения реакций на поверхности твёрдого тела; фазовых переходов
в адсорбированных слоях; для определения активности катализаторов в гетерогенных
реакциях диссоциации и др. Эти методы пригодны при высоких Т и имеют
большую чувствительность, если
Существуют комбинированные методы, в к-рых П. и. сочетается с термоэлектронной
эмиссией, с электронно-стимулированной десорбцией и др.
Э. Я. Зандберг