Ионное травление - удаление вещества с поверхности твёрдого тела под действием ионной бомбардировки.
Процесс И. т. зависит от интенсивности пучка, вида, энергии н угла
падения ионов, а также от материала и состояния мишени. В процессе И. т.
вследствие распыления, дефектообразования, имплантации ионов
и атомов отдачи меняются элементный состав и структура поверхности:
происходит обогащение поверхности определ. элементом, кристаллизация или
аморфизация поверхностного слоя. Изменение поверхностного рельефа при И. т. включает неск. стадий: 1) возникновение дефектов (вакансий, межузельных атомов, дислокаций);
2) появление микроскопич. неоднородностей размерами 10-100 нм [ямки
травления, конич. или пирамидальные выступы (рис. 1,2) границы зёрен];
3) образование неоднородностей макроскопич. размеров порядка долей мкм.
Скорость И. т. в единицах массы вещества, уносимого с единичной
площадки, определяется соотношением:
v=[MK/NZe]j,
где М - ат. масса вещества мишени, К - коэф. распыления, N - число Авогадро, Ze - заряд иона, j-
плотность ионного тока. Толщина слоя, распылённого за 1 с, равна v/r,
где r - плотность мишени.
И. т. используется для выявления структуры поверхности, дефектов,
деформированных участков. И. т. применяется также для создания
многоострийной поверхности (см. Автоэлектронная эмиссия, Ионный проектор), для профилирования при послойном анализе состава разл. слоев методами оже-спектроскопии ,для избирательного удаления вещества через маски при создании элементов микроэлектроники (см. Микролитография).
Литература по ионному травлению
Распыление твердых тел ионной бомбардировкой, в. 2, пер. с англ., под ред. Р. Бериша, М., 1986.
Знаете ли Вы, как разрешается парадокс Ольберса? (Фотометрический парадокс, парадокс Ольберса - это один из парадоксов космологии, заключающийся в том, что во Вселенной, равномерно заполненной звёздами, яркость неба (в том числе ночного) должна быть примерно равна яркости солнечного диска. Это должно иметь место потому, что по любому направлению неба луч зрения рано или поздно упрется в поверхность звезды. Иными словами парадос Ольберса заключается в том, что если Вселенная бесконечна, то черного неба мы не увидим, так как излучение дальних звезд будет суммироваться с излучением ближних, и небо должно иметь среднюю температуру фотосфер звезд. При поглощении света межзвездным веществом, оно будет разогреваться до температуры звездных фотосфер и излучать также ярко, как звезды. Однако в дело вступает явление "усталости света", открытое Эдвином Хабблом, который показал, что чем дальше от нас расположена галактика, тем больше становится красным свет ее излучения, то есть фотоны как бы "устают", отдают свою энергию межзвездной среде. На очень больших расстояниях галактики видны только в радиодиапазоне, так как их свет вовсе потерял энергию идя через бескрайние просторы Вселенной. Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.
