Ионная бомбардировка поверхности твёрдых тел - приводит к возникновению
взаимосвязанных процессов, основные из к-рых -
объёмное и поверхностное рассеяние бомбардирующих ионов (в т. ч. и с
изменением их зарядового состояния), эмиссия из разл. конденсированных
сред заряж. и нейтральных частиц и их комплексов (ионно-ионная эмиссия, ионно-электронная эмиссия, распыление, ионно-стимулированная десорбция с поверхности твёрдого тела), испускание эл--магн. излучения с широким спектром частот (ионолюминесценция, ионно-фотонная эмиссия
,рентг. излучение), разл. радиац. процессы, в т. ч. образование
дефектов как в объёме твёрдого тела, так и на его поверхности (рис.).
Первый этап всех процессов - элементарный акт столкновения иона с атомом
твёрдого тела, результатом к-рого является перераспределение энергии и
импульса бомбардирующего иона между рассеянным ионом и атомом мишени.
Акт столкновения приводит к возникновению протяжённых
последовательностей столкновений (напр., фокусоны ,динамич. краудионы)и
каскадов атомных столкновений, а также процессов, сопровождающих
перестройку электронных оболочек партнёров столкновения, что и
обусловливает всю совокупность вторичных процессов, вызванных И. б.
В отличие от атомных столкновений в газах столкновения в твёрдых телах
характеризуются малостью межатомных расстояний, а также наличием
упорядоченности в расположении атомов и коллективизированных электронов.
Малость межатомных расстояний по сравнению с газами приводит к тому,
что при расчёте последоват. столкновений необходимо учитывать различия в
потенциалах взаимодействия сталкивающихся частиц, смещение
рассеивающего атома за время столкновения, а также возможность
одновременного (или почти одновременного) столкновения атома либо иона
сразу с двумя и более атомами мишени. Упорядоченность в расположении
атомов приводит к тому, что последовательности
столкновений могут оказаться коррелированными, что обусловливает сильные
ориентац. эффекты как в прохождении ионов через вещество, так и в разл.
эмиссионных и радиац. процессах. Наличие коллективизированных
электронов приводит к диссипации энергии
при прохождении ионов через вещество даже в тех случаях, когда
движущийся ион не испытывает сильных (т. е. с отклонением на большой
угол) столкновений с атомами твёрдого тела, в частности при каналировании заряженных частиц.
И. б. наблюдается в естеств. условиях (напр., ионная бомбардировка
искусств, спутников Земли в околоземном и космич. пространствах), в лаб.
условиях (напр., в эл.- магн. разделителях изотопов; см. Изотопов разделение). Она эффективно используется в микроэлектронике для легирования полупроводников
Схема основных процессов, обусловленных ионной бомбардировкой
твёрдого тела. Показаны различные виды эмиссий заряженных и
нейтральных частиц и различные виды радиационных дефектов.
(см. Ионная имплантация), микролитографии, а также для
целенаправленного изменения свойств твёрдых тел, в т. ч. для упрочнения
их поверхностей и др.
Литература по ионной бомбардировке поверхности твёрдых тел
Лейман К., Взаимодействие излучения с твёрдым телом и образование элементарных дефектов, пер. с англ., М., 1979;
Ion bombardment modification of surfaces. Fundamentals and applications, ed. by O. Auciello, R. Kelly, N. Y., 1984;
Mashkova E. S., Molchanov V. A., Medium-Energy ion reflection from solids, Amst., 1985;
Тилл У., Лаксон Дж., Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление, пер. с англ., М., 1985.
Знаете ли Вы, что такое "Большой Взрыв"? Согласно рупору релятивистской идеологии Википедии "Большой взрыв (англ. Big Bang) - это космологическая модель, описывающая раннее развитие Вселенной, а именно - начало расширения Вселенной, перед которым Вселенная находилась в сингулярном состоянии. Обычно сейчас автоматически сочетают теорию Большого взрыва и модель горячей Вселенной, но эти концепции независимы и исторически существовало также представление о холодной начальной Вселенной вблизи Большого взрыва. Именно сочетание теории Большого взрыва с теорией горячей Вселенной, подкрепляемое существованием реликтового излучения..." В этой тираде количество нонсенсов (бессмыслиц) больше, чем количество предложений, иначе просто трудно запутать сознание обывателя до такой степени, чтобы он поверил в эту ахинею. На самом деле взорваться что-либо может только в уже имеющемся пространстве. Без этого никакого взрыва в принципе быть не может, так как "взрыв" - понятие, применимое только внутри уже имеющегося пространства. А раз так, то есть, если пространство вселенной уже было до БВ, то БВ не может быть началом Вселенной в принципе. Это во-первых. Во-вторых, Вселенная - это не обычный конечный объект с границами, это сама бесконечность во времени и пространстве. У нее нет начала и конца, а также пространственных границ уже по ее определению: она есть всё (потому и называется Вселенной). В третьих, фраза "представление о холодной начальной Вселенной вблизи Большого взрыва" тоже есть сплошной нонсенс. Что могло быть "вблизи Большого взрыва", если самой Вселенной там еще не было? Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.