Интерференционный компаратор - интерферометр для абс. измерений длин концевых мер (измерит, плиток) сравнением (компарированием) их с длиной волны света l, а также для относит, измерений длин двух концевых мер.
Наиб, часто в качестве И. к. применяется интерферометр Кёрстерса, к-рый представляет собой сочетание интерферометра Майкельсона и призменного монохроматора (рис., а). Свет от источника линейчатого спектраL (гелиевой, криптоновой или кадмиевой разрядной трубки) направляется конденсатором О на
горизонтальную щель S1 входного коллиматора. Призма А (обычно призма Аббе) разлагает в спектр параллельный пучок лучей, падающий на неё из объектива О1, и направляет его на разделит, пластинку Р1 интерферометра. На поверхность зеркала М2 интерферометра (в центре его) притирают измерит, концевую меру К, чтобы середина её совпадала с осью прибора. Зеркало М1 ориентируют так, чтобы его мнимое изображениеM1 образовало небольшой воздушный клин с зеркалом М2. В результате интерференции лучей, отражённых от М1, от
плоскости концевой меры К и от свободной поверхности зеркала М2, образуются 2 системы интерференционных полос равной толщины, к-рые наблюдаются через горизонтальную щель S2 выходного коллиматора (рис., б). Поворачивая призму А, совмещают щель S2 с разл. монохроматич. изображениями щели S1 и наблюдают интерференционные картины в разл. длинах волн. Если расстояния вдоль оси прибора от М'1 до М2 и К есть l2 и l1 соответственно (рис., а), то разности фаз в двух системах полос на оси прибора равны 2l2=(m2+e2)l и 2l1=(m1+e1)l, где m1 и m2 - целые числа, a e1 и e2 - правильные дроби. Толщина концевой меры равна l=l2-l1=(m+e)l/2, где m=m2-m1 и e=e2-e1. Измерение l
сводится, т. о., к определению целого числа m и дроби e. Последняя
непосредственно вычисляется из смещения полос двух систем в середине
поля зрения (рис., б). Трудность состоит в определении m, т. к. величина m в зависимости от l может быть очень большой (десятки тысяч). В связи с этим предварительно измеряют l
механич. методами с точностью 1-2 мкм и приближённо определяют m (с
точностью 4-8 единиц, т. к. l/2@0,25 мкм). Затем измеряют смещения полос
e для разл. длин волн и сопоставляют их с величинами e для тех же l и
неск. значений т, близких к тому, что было найдено приближённо.
Совпадение вычисленных и измеренных величин e для мн. длин волн может
быть только при правильном выборе числа m. Точность измерения l при правильно найденном значении т
определяется точностью определения e. Оценка на глаз величины смещения
полос e может быть сделана с точностью до 1/20 l, и, следовательно,
длина l может быть измерена с точностью 0,025 мкм. Для относит, измерений длин двух концевых мер их притирают на зеркало M2 и по величине смещения интерференционных полос находят разность их длин.
Литература по интерференционным компараторам
Ландсберг Г. С. Оптика, 5 изд., М., 1976;
Захарьевский А. Н. Интерферометры, М., 1952;
Коломийцов Ю. В. Интерферометры, Л., 1976;
Крылов К. И., Прокопенко В. Т., Митрофанов А. С. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении. Л., 1978.
Знаете ли Вы, что, как и всякая идолопоклонническая религия, релятивизм представляет собой инструмент идеологического подчинения одних людей другим с помощью абсолютно бессовестной манипуляции их психикой для достижения интересов определенных групп людей, стоящих у руля этой воровской машины? Подробнее читайте в FAQ по эфирной физике.
